最先進的多元素微量元素分析儀器測定，測量質量，樣本內的原子發光或γ射線性能。

電感耦合等離子體發射光譜提供濃度為30到40個不同的元素，是一種常見的地球化學分析工具。成等離子體經營吸氣樣品溶液在8000°K。返回到基態的激發態的原子發射的光被分成其光譜波長由Eschelle光柵。的各波長的強度的測量是由光電倍增管或-在最現代化的ICP-ES模型-由CCD芯片。線性范圍為5個數量級。

電感耦合等離子體質譜正迅速成為能夠量化60至70元素地球化學分析的首選儀器。喜歡的高溫等離子體，產生離子的樣品溶液被吸入到。離子穿過的磁四極，其飛行路徑偏轉，偏轉程度與每個離子的質量。采樣器測量根據一個給定的特定的目標元素，以確定濃度的磁場原子缺陷的數量。ppb到ppt級的檢測限線性范圍為6到7級的訂單。

微量元素分析儀中子活化分析測定35或更多的元素，包括金是一種非破壞性的技術。微量元素分析儀方法特別適合于稀土，不兼容的元素，某些微量元素（砷，鈷，銻），未成年人（BA，Rb）的分析主要元素（鐵，鎂，鈉）。然而方法是不夠的基本金屬（銅，鉛和鋅）。樣品粉末被封裝在一個核反應堆的心臟和暴露的中子通量。中取出樣品，并使其冷卻好幾天，以允許更積極的γ射線發射器的衰減。隨后，將樣品放置在γ射線檢測器，以確定元素的濃度通過測量γ射線的各種波長的強度。線性范圍。

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